氣體的監(jiān)測(cè)和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點(diǎn)或用氣設(shè)備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測(cè)與分析，只有采用先進(jìn)的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。氣體監(jiān)測(cè)和分析的重要性隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和的塵埃污染，也會(huì)給生產(chǎn)帶來(lái)嚴(yán)重的破壞性。
從氣體種類上來(lái)說(shuō)，空分氣體（氮?dú)狻⒀鯕夂蜌鍤猓┤允枪I(yè)氣體的主要產(chǎn)品，份額占一半以上。合成氣體（氫氣、二氧化碳、乙i炔等）有35%左右。特種氣體（高純氣體和電子特種氣體）占8-10%的份額。從應(yīng)用上來(lái)說(shuō)，冶金用空分氣體較多，化工行業(yè)用合成氣體較多，而特種氣體更多用于電子行業(yè)。從氣體供應(yīng)角度來(lái)說(shuō)，不同的供應(yīng)模式有著不同的特點(diǎn)。
是一種主要由組成的氣態(tài)化石燃料。它主要存在于油田和田，也有少量出于煤層。也同原i油一樣埋藏在地下封閉的地質(zhì)構(gòu)造之中，有些和原i油儲(chǔ)藏在同一層位，有些單獨(dú)存在。對(duì)于和原i油儲(chǔ)藏在同一層位的，會(huì)伴隨原i油一起開采出來(lái)。主要用途是作燃料，可制造炭黑、化學(xué)藥品和液化石i油氣，由生產(chǎn)的丙烷、丁烷是現(xiàn)代工業(yè)的重要原料。主要由氣態(tài)低分子烴和非烴氣體混合組成。
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