滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時(shí)，儲(chǔ)存場(chǎng)所需要經(jīng)過(guò)縣級(jí)以上相關(guān)單位批準(zhǔn)。高壓容器儲(chǔ)存場(chǎng)所出入口及顯眼處，需設(shè)有安全警示牌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類(lèi)，電子特種氣體（簡(jiǎn)稱(chēng)電子特氣）是特種氣體的 一個(gè)重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。
特種氣體分類(lèi)：從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種，廣泛應(yīng)用 于電子半導(dǎo)體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，隨著、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)新動(dòng)力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。特種氣體種類(lèi)：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱(chēng)為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。
20 世紀(jì) 80 年代，電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動(dòng)特種氣體的需求提高，隨著氣體供應(yīng)商供氣模式的引入，國(guó)內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車(chē)間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨(dú)立的氣體公司，國(guó)內(nèi)特種氣體市 場(chǎng)逐步發(fā)展起來(lái)。特種氣體種類(lèi)：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體種類(lèi)：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱(chēng)為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。
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